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三座標(biāo)非接觸測量顯微鏡

三座標(biāo)非接觸測量顯微鏡

簡要描述:本儀器所使用的影像測量技術(shù)、圖像處理技術(shù)、自動(dòng)調(diào)焦技術(shù)、亞象素尋邊技術(shù)測量分析軟件極大提高測量精度和測量效率。

產(chǎn)品型號: CN

所屬分類:測量顯微鏡

更新時(shí)間:2024-03-18

詳細(xì)說明:

 CN三座標(biāo)非接觸測量顯微鏡

    本儀器所使用的影像測量技術(shù)、圖像處理技術(shù)、 自動(dòng)調(diào)焦技術(shù)、亞象素尋邊技術(shù)測量分析軟件極大提高測量精度和測量效率。儀器光學(xué)系統(tǒng)品質(zhì)優(yōu)良,物鏡成像清晰,倍率廣泛。提供物體輪廓(透射)和表面(反射)同軸照明,保證物體影像清晰。導(dǎo)軌、絲杠、光柵尺、電機(jī)等關(guān)鍵部件全部選用國外,保證系統(tǒng)的高質(zhì)量和高可靠性。
    自動(dòng)識(shí)辨物體焦面位置和自動(dòng)尋找物體亞象素邊界。優(yōu)質(zhì)運(yùn)動(dòng)控制器和圖像傳感器,保證高品質(zhì)圖像質(zhì)量和工作臺(tái)的低噪音平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)。 X、Y、Z軸全部電機(jī)閉環(huán)控制運(yùn)動(dòng),Z軸裝有粗微調(diào)焦手輪調(diào)節(jié)以適應(yīng)測量工件高度要求。多種形位尺寸(幾何元素)測量,點(diǎn)、線、面、圓、橢圓、球面及其幾何元素間的關(guān)系,圓度、球度、平面度等形狀公差,平行度、垂直度等位置公差。平面定義與自動(dòng)三維采點(diǎn)測量,按國標(biāo)GB11337-98的各種方法自動(dòng)進(jìn)行平面度誤差檢測。提供測量編程指令,具有自學(xué)習(xí)編程功能,自動(dòng)批量快速測量,大大提高檢測效率。
    人性化方便的運(yùn)動(dòng)控制和多種方式的測量功能,編程和自學(xué)習(xí),成倍提高測量效率。系統(tǒng)提供多達(dá)20個(gè)機(jī)械坐標(biāo)和工件坐標(biāo)。無需轉(zhuǎn)臺(tái),實(shí)時(shí)非接觸測量物體的高度、距離、角度等參數(shù)。無需傾斜臺(tái),對物體基準(zhǔn)面進(jìn)行數(shù)學(xué)找正,避免物理找正的煩瑣。提供強(qiáng)大的數(shù)理統(tǒng)計(jì)分析和數(shù)據(jù)庫功能:統(tǒng)計(jì)參數(shù)計(jì)算,正態(tài)、歷史、直方圖、X2、T、F分布,X2、T、F檢驗(yàn),單因素方差分析和相關(guān)性檢驗(yàn)等。輸出結(jié)果形式多樣,可被WORD,EXCELL,AUTOCAD等應(yīng)用軟件使用。幾何形狀測量與構(gòu)造實(shí)時(shí)圖形的直觀顯示,利于測量檢查。提供在線幫助功能,操作簡便,易學(xué)易用。
 
技術(shù)參數(shù)

工作臺(tái)行程
標(biāo)配:X=150mm, Y=150mm, Z=100mm
選配:X: 100mm~400mm;Y: 100mm~200mm;Z: 100mm-150mm
光學(xué)尺分辨率
標(biāo)配:0.001mm閉式; 選配:0.0005mm閉式,0.0001mm開式
重復(fù)定位精度
X,Y,Z: ≤0.0015mm
重復(fù)調(diào)焦精度(倍率大于150X)
≤0.0015mm
系統(tǒng)不確定度
分辨率為0.001mm時(shí):X,Y: (3.0+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm
分辨率為0.0005mm時(shí):X,Y: (1.5+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm
分辨率為0.0001mm時(shí):X,Y: (0.5+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm

儀器配置

部件名稱
規(guī)格(標(biāo)配)  
選件 
備注 
CCD工業(yè)攝像頭 
彩色CCD(1/2”)  
黑白CCD(1/2”)  
復(fù)合或標(biāo)準(zhǔn)視頻
工業(yè)顯微鏡 
連續(xù)變倍:1:10
1.5X物鏡 (50~500X)
連續(xù)變倍:0.7-4.5X;
工業(yè)內(nèi)照明高倍率長工作距顯微鏡,物鏡倍率:3X~100X
C-Mount接口 
計(jì)算機(jī)系統(tǒng) 
商用PC,98/2000/XP  
工業(yè)控制機(jī) ,彩色噴墨打印機(jī) 
   
測量控制軟件 
TDYMS V60CNC
  
  
底座 
花崗石00級
 
 
照明光源
透 6V20W,反21V150W可調(diào)鹵素?zé)?nbsp;
外接照明 
   
工作臺(tái)行程
(測量范圍)
 
X:150mm,Y:150mm,Z:100mm
X:100-400mm,Y:100-200mm
Z:100-200mm
Z軸帶有粗微調(diào)機(jī)構(gòu),以滿足不同高度工件的測量 (80mm 范圍)
驅(qū)動(dòng)方式
X、Y、Z:CNC電動(dòng) 
JOG控制盒
  
驅(qū)動(dòng)電機(jī)
三相步進(jìn)電機(jī)
伺服電機(jī)
  



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