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簡要描述:可實(shí)現(xiàn)精確的亞納米表面輪廓非接觸式測量。尼康*的掃描式光學(xué)干涉測量技術(shù)實(shí)現(xiàn)了1皮米(pm)的高度分辨率。尼康提供多種光學(xué)顯微鏡作為測量系統(tǒng),以適應(yīng)廣泛的測量應(yīng)用。
產(chǎn)品型號: BW
所屬分類:尼康金相顯微鏡
更新時間:2024-03-19
尼康BW系列白光干涉儀
在2017年被日本光學(xué)協(xié)會授予光設(shè)計(jì)特別大獎,獲獎原因是其在白光干涉的分辨率有飛躍性的提高,控制噪音達(dá)到很高的水平,之前難以測量的超平滑表面的性能特征,實(shí)現(xiàn)了定量測定。
可實(shí)現(xiàn)精確的亞納米表面輪廓非接觸式測量。
尼康*的掃描式光學(xué)干涉測量技術(shù)實(shí)現(xiàn)了1皮米(pm)的高度分辨率。尼康提供多種光學(xué)顯微鏡作為測量系統(tǒng),以適應(yīng)廣泛的測量應(yīng)用。
測量精度&重復(fù)性
尼康BW系列產(chǎn)品具有很高的高度解析能力和重復(fù)測量精度,美國VLSI公司生產(chǎn)的8.9nm臺階是世界上目前被認(rèn)證的小高度標(biāo)準(zhǔn)樣,其擴(kuò)展不確定度為0.6nm,而尼康BW白光干涉儀經(jīng)過十次測量結(jié)果全部在擴(kuò)展不確定度范圍內(nèi),且標(biāo)準(zhǔn)偏差為0.03nm。
測定穩(wěn)定性
白光干涉儀光源的中心波長是隨著時間不斷變化的,尼康的BW系列白光干涉儀,由于算法與波長無關(guān),測定的結(jié)果在任何時間點(diǎn)都可以保證*性,保證了用戶測量結(jié)果具備很高的重復(fù)性和再現(xiàn)性。
高度測量*性
與傳統(tǒng)的利用光學(xué)景深進(jìn)行三維重構(gòu)的超景深顯微鏡和將景深減小更精細(xì)還原三維表面的共聚焦相比,BW系列白光干涉儀每個倍率下高度分辨率都是1pm,可以實(shí)現(xiàn)每個倍率測量結(jié)果的高度統(tǒng)一,而共聚焦或者超景深在低倍的鏡頭測量,由于其分辨率的下降,導(dǎo)致測量精度變差。而且尼康BW白光干涉儀分辨率遠(yuǎn)高于共聚焦高倍物鏡。
參考下圖SiC晶圓上的特征高度,采用不同倍率的尼康物鏡測量結(jié)果是高度*的。(低倍測量結(jié)果的偏差是由于像素點(diǎn)大而特征點(diǎn)邊界小導(dǎo)致)
應(yīng)用:碳化硅晶圓劃痕檢測
在高度拋光的碳化硅晶圓上由于細(xì)小劃痕引起的粗糙度偏大,之前采用原子力顯微鏡檢測可以看到劃痕,
而采用尼康BW-D系列高速機(jī)型使用100倍物鏡掃描25張圖像只需要1分鐘,不但可以看到劃痕,而且可以測定劃痕深度及其對表面粗糙度評定的影響。
應(yīng)用:碳化硅晶圓粗糙度測量
超光滑表面粗糙度測量,可以測量面粗糙度小于0.1nm表面。
應(yīng)用:光學(xué)平晶
應(yīng)用:滾珠
通過澤尼克多項(xiàng)式擬合測量滾珠的外型尺寸和粗糙度。
應(yīng)用:玻璃基底鉻鍍層
應(yīng)用:石墨烯
石墨烯的結(jié)構(gòu)是亞納米級,石墨烯的 “片層”和“褶皺”結(jié)構(gòu)高度都是亞納米級,傳統(tǒng)的三維圖像都是采用原子力顯微鏡進(jìn)行解析,尼康BW可以提供更快速更大視野的高縱向分辨力的圖像解析。
應(yīng)用:金剛石薄膜
這類材料表面呈現(xiàn)各個不同的角度,圖像獲取難度大,而尼康BW白光干涉系統(tǒng)可以輕松獲取表面真實(shí)三維信息,得到很不錯的結(jié)果。
應(yīng)用:圖像傳感器
微型圖像傳感器,傳感器凸起部分只有幾十納米,對于共聚焦100倍物鏡來說解析已經(jīng)比較吃力,尼康BW可以呈現(xiàn)非常高對比度的高度圖像,無論圖像畫質(zhì)還是測量準(zhǔn)確度,都更勝*。
應(yīng)用:陶瓷基片
陶瓷基片因?yàn)楸砻媲闆r復(fù)雜,傳統(tǒng)白光干涉儀測量點(diǎn)缺失嚴(yán)重,尼康BW具有更好的算法處理,配合尼康優(yōu)異的光學(xué)系統(tǒng),